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ag环亚娱乐平台多家LED巨子纷繁瞄准6英寸SiC晶圆商场

2018-08-11 06:51

  多家LED巨子纷繁瞄准6英寸SiC晶圆商场

  近来,关于SiC功率半导体的世界学会“ICSCRM 2013”于日本宫崎县举办。在展场内,多家SiC基板厂商展现了直径为6英寸(150mm)的晶圆。这种晶圆是现行3~4英寸(75mm~100mm)晶圆的下一代产品。科锐已首先供货6英寸晶圆,但估量紧随其后的各SiC基板厂商会在2013年下半年~2014年连续正式投进产品。ag环亚娱乐平台

  

  基板质量得到共同好评的新日铁住金现在已开端供给6英寸晶圆的样品,方案2014年开端量产供货。预订供给裸晶圆以及由外部企业完结外延膜成膜的外延晶圆。该公司称,其4英寸(100mm)晶圆的质量“包含差排缺点密度在内,均达到了十分高的水平,6英寸晶圆也在削减缺点迎头赶上”。现在新日铁住金正瞄准往后6英寸晶圆商场不断扩大的趋势,“评论是否需求自己具有外延膜成膜才能”。

  别的,新日铁住金的母体企业是曩昔的新日本制铁和住友金属,住友金属曾经一直在开发根据溶液法的SiC结晶生长技能。因而,新日铁住金现在正在一起开发溶液法和(原新日本制铁开发的)进步法两种技能。

  罗姆旗下的SiCrystal公司将于2013年末~2014年3月开端量产供给6英寸晶圆。SiCrystal的出售代理商介绍说,SiCrystal并未开发外延晶圆,而是专心于怎么贱价供给高质量裸晶圆。因为建立了由罗姆敏捷对开宣告的SiC晶圆进行测评的体系,因而“能够赶快取得基板质量的相关反应定见,然后促进质量的进步”。

  昭和电工于2013年9月30日已宣告确立了150mm直径外延晶圆的量产技能。该公司已从2013年头开端供给该晶圆的样品,将从10月开端供给产品。方案先只供给n型外延晶圆,2015年前后再开端供给p型外延晶圆。